مدلسازی و بررسی تجربی فشارسنج میکرو الکترومکانیکی پیزومقاومتی بر اساس الزامات عملکرد صنعت پتروشیمی | ||
| مهندسی مکانیک مدرس | ||
| Article 38, Volume 14, Issue 16, 1393, Pages 349-357 PDF (720.58 K) | ||
| Authors | ||
| نوید سیدکاظم ویلیانی* 1; مهدی هاشمی2; هادی وادی زاده3; حسن پوررستمی4; سید محسن مصطفوی5; فرآمند هاشمی زاده5 | ||
| 1عضو هیات علمی دانشگاه آزاد اسلامی | ||
| 2دانشگاه صنعتی شریف | ||
| 3انجمن پژوهشگران جوان دانشگاه ازاد تهران جنوب | ||
| 4عضو هیات علمی دانشگاه ازاد اسلامی | ||
| 5پژوهش و فناوری شرکت پتروشیمی فن آوران | ||
| Abstract | ||
| در این مقاله به بررسی تحلیلی و تجربی پکیج فشارسنج میکروالکترومکانیکی پرداخته شده است. این پکیج فشارسنج از یک حسگر میکروالکترومکانیکی، برد مدار چابی، نمایشگر خازنی تشکیل شده است. در ابتدا، مدلسازی ریاضی و کامپیوتری با استفاده از نرمافزار کامسول ارائه شده که بر اساس تحلیل اجزاء محدود مقادیر خروجی ولتاژ و حساسیت از حسگر فشار میکروالکترومکانیکی پیزومقاومتی محاسبه شده است. شایان ذکر است که عنصر مقاومتی در نظر گرفته شده روی دیافراگم از نوع ضربدری میباشد. علاوه بر تحلیل استاتیکی و مودال دیافراگم این فشارسنج، اثرات پارامترهای هندسی بر روی ولتاژ خروجی مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که با تغییر ابعاد و موقعیت عنصر مقاومتی روی دیافراگم و ابعاد و ضخامت دیافراگم، حساسیت حسگر تغییر مییابد. سپس، با ساخت برد مدار چاپی و تعبیه نمودن اجزا بر روی آن، پکیج نهایی تهیه شده و مورد تست آزمایشگاهی قرار گرفته است. نتایج نشان میدهد که پکیج فشارسنج میکروالکترومکانیکی دارای خطای کمتر از 5/0 درصد میباشد. این پکیج فشارسنج قادر است تا فشار 6 بار را با دقت مذکور اندازهگیری کند که نتایج تجربی حاصل از کار آزمایشگاهی در پایان مقاله ارائه شده است. از این پکیج میتوان با توجه به الزامات طراحی در صنعت پتروشیمی در اندازهگیری فشار گاز مخازن ذخیره و مخازن تحت فشار پتروشیمی فنآوران استفاده میشود. | ||
| Keywords | ||
| حسگر فشارسنج میکروالکترومکانیک; پیزومقاومت; صنایع پتروشیمی; بررسی تحلیلی و تجربی | ||
|
Statistics Article View: 390 PDF Download: 594 |
||
| Number of Journals | 45 |
| Number of Issues | 2,160 |
| Number of Articles | 24,560 |
| Article View | 19,411,574 |
| PDF Download | 15,849,035 |